觸摸屏用銅合金靶材

觸摸屏通常使用氧化銦錫（ITO）作為透明導客製化螢幕電膜。ITO是一種透明的導電性材料，但隨著觸摸屏尺寸越來越大，要求具備更高的導電性。作為可滿足這一要求的技術，將導電線材料從ITO換為網眼狀金屬的“金屬網”被開發出來。在金屬網用材料方面，目前有基於蒸鍍法的銅網及銀納米線等產大尺吋觸控螢幕品，並被應用於附帶大尺寸顯示屏的飲料自動售貨機以及大屏幕個人電腦等的觸摸屏上。但這些材料也存在一些問題，比如必須使用專用的生產工藝、難以實現細線設計等等。

新產品能夠解決這些問題。新產品的電阻（薄膜電阻）降到了與純鋁相當的約0。2Ω/□，大幅低於ITO的50～100Ω/□。反射率觸控螢幕平均值在不做追加處理的情況下可降至原來的10～20％，如果優化成膜時的反應氣體條件，最大可降至原來的10％。另外，新產品與玻璃、PET（聚酯）等多種基板材料的緊貼性也很出色，這也是其一大優點。

與ITO一樣，新型靶材可用濺射工藝生產。由於以銅為主體，因此容易用蝕刻工藝實現細線設計。另外，新產品不使用銦等稀有金屬，因此與ITO相比，還能降低觸摸屏的成本。

將在“高功能金屬展”（2015年4月8日～10日於東京有明國際會展中心舉行）上展出此次的新產品。


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